钛酸钡/钛酸锶多层薄膜微观结构及其生长机制研究

摘要：

采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁(MgO)单晶的(001)晶面上制备出钛酸钡(BaTiO3)/钛酸锶(SrTiO3)多层薄膜.利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)以及高角环形暗场(HAADF)像对其微观结构进行了详细研究,并探讨了多层膜的生长机制.结果表明:(1)在基体/薄膜界面附近存在周期性的失配位错,伯格斯矢量为a/2〈110〉；(2)界面附近存在界面层(过渡层),层内可能存在局部畴域；(3)薄膜内存在位移矢量为1/2〈 110〉的富Ti型和富Ba型两种层错；(4)薄膜生长过程中,由于弛豫产生的应变分布不均使得沉积原子倾向于在低应力处成核,最终多层膜显示柱状结构.

关键词：多层薄膜、柱状生长、微观结构、高分辨透射电子显微镜

所属期刊栏目：31

分类号：TG135+.1;TG146.2;TG115.21+5.3(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目21171027

在线出版日期：2013-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：486-492