10.3969/j.issn.1000-6281.2012.01.014
一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术——改进的可溶盐基片法
本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进.改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品.
TEM、样品制备、薄膜
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O766;TB383;TG115.21+5.3(晶体结构)
国家自然科学基金资助项目51071104
2012-06-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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