TDX-200F透射电镜高压测试系统的设计与应用

摘要：

本文针对加速电压稳定度、电压值及加速电压纹波值性能指标设计了TDX-200F透射电镜高压电源测试系统.首先阐述了系统的工作原理,然后根据基本测试功能和主要技术指标设计了高压测试系统.该系统采取虚拟仪器技术,大大提高测试效率,经过现场调试,现已用于新研制的TDX-200F场发射枪透射电子显微镜高压系统测试中.实验证明该测试系统稳定、可靠,可用于高压电源系统性能指标的测试.

关键词：透射电子显微镜、高压测试系统、电压稳定度、电压纹波值

所属期刊栏目：30

分类号：TN16;TM83(真空电子技术)

资助基金：国家科技支撑计划课题2006BAK03A24

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：567-570