Si衬底GaN基多量子阱外延材料的TEM研究

摘要：

本文采用高分辨透射电子显微技术对在Si衬底生长的GaN基多量子阱外延材料的位错特征、外延层与衬底的晶体取向关系及界面的结晶形态等微观结构进行了分析和研究.结果表明:Si衬底生长的GaN与衬底有一定的取向关系；材料在MQW附近的穿透位错密度达108 cm-2量级,且多数为刃型位错；样品A的多量子阱下方可见平行于界面方向的位错,本文认为这可能是由于AlN/Si界面上的SixNy形成的多孔形态促使外延层进行侧向生长,使位错在高温GaN层沿横向弯曲所致,这样可进一步降低穿过量子阱的位错密度,有利于提高材料质量.

关键词：GaN、Si衬底、位错、TEM

所属期刊栏目：30

分类号：TN304;TG115.21+5.3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11073010

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：512-516