扫描电镜图像最优条件的选择研究

摘要：

在扫描电镜成像过程中,影响图像质量的因素比较多,本文针对不同样品介绍了选择最佳条件的方法.例如样品室内气氛控制、图像参数的选择、检测器的选择以及控制温度的选择,尽可能将样品原来的面貌保存下来得到高质量电镜照片.

关键词：扫描电子显微镜、气氛、检测器、温度

所属期刊栏目：30

分类号：TN16;TG115.21+5.3(真空电子技术)

在线出版日期：2011-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：171-174