聚焦离子束在光纤探针制备技术中的应用

摘要：

本文概述了利用聚焦离子束制备用于近场光学显微镜光纤探针的方法,讨论了探针的锥型刻蚀、孔径控制和特殊结构加工等;论述了聚焦离子束的工作原理和在先纤探针高精度加工方面的优势.利用此技术制备的光纤探针的锥型和针尖孔径精确可控,并具有高光洁度,高通光效率等特点.

关键词：聚焦离子束、刻蚀、光纤探针、针尖孔径、通光效率

所属期刊栏目：28

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：科技部973项目2007CB936503;基金委科学仪器基础研究专项10827403

在线出版日期：2010-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：595-599