金属表面微纳米光滑构造的新方法

摘要：

传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构.通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度.本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造.这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点.

关键词：光滑结构、金属、电子束曝光、模板剥离法

所属期刊栏目：28

分类号：TB383;TN305;TG115.21~+5.3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目.90606023,10574003,20731160012

在线出版日期：2010-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：511-516