10.3969/j.issn.1000-6281.2009.04.007
AlSb/GaAs异质外延薄膜应变的HRTEM几何相位分析
用几何相位分析(geometric phase analysis,GPA)方法研究了AlSb/GaAs异质外延薄膜的应变.此方法基于高分辨像的傅里叶变换.通过选择傅里叶变换点分辨率以内的某个强衍射,做反傅里叶变换得到晶格条纹的相对的相位分布,进一步得到应变分布.Bragg滤波条纹像确认了60°和90°失配位错的存在.分析讨论了位错核心区域应变分布差异的可能机制.
高分辨透射电子显微术、异质结、应变、失配位错
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TN304.054;TG115.21+5.3;O77+2(半导体技术)
国家科技部973项目资助2007CB936301.教育部新世纪优秀人才支持计划NCET-05-0678;山东省自然科学杰出青年基金JQ200818的部分资助
2009-11-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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