AlSb/GaAs异质外延薄膜应变的HRTEM几何相位分析

摘要：

用几何相位分析(geometric phase analysis,GPA)方法研究了AlSb/GaAs异质外延薄膜的应变.此方法基于高分辨像的傅里叶变换.通过选择傅里叶变换点分辨率以内的某个强衍射,做反傅里叶变换得到晶格条纹的相对的相位分布,进一步得到应变分布.Bragg滤波条纹像确认了60°和90°失配位错的存在.分析讨论了位错核心区域应变分布差异的可能机制.

关键词：高分辨透射电子显微术、异质结、应变、失配位错

所属期刊栏目：28

分类号：TN304.054;TG115.21+5.3;O77+2(半导体技术)

资助基金：国家科技部973项目资助2007CB936301.教育部新世纪优秀人才支持计划NCET-05-0678;山东省自然科学杰出青年基金JQ200818的部分资助

在线出版日期：2009-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：338-342