AFM非线性测量的影响因素分析

摘要：

原子力显微镜(AFM)已经广泛应用于纳米科技领域.为获得准确的测量结果,对AFM非线性进行测量和校正是非常必要的.AFM非线性的测量方法有电容测微仪法、激光干涉法和扫描图像相关分析法等,其中图像相关分析法具有原位和简单等优点.本文应用图像相关方法,对不同漂移速率和扫描面积情况下的非线性测量结果进行实验对比分析.结果表明,漂移速率和扫描面积是影响图像相关法测量AFM非线性准确性的重要因素.

关键词：原子力显微镜、非线性、数字图像相关法

所属期刊栏目：28

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：973子课题2006CB932502;中国科学院知识创新工程KJCX-YW-M03

在线出版日期：2009-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：131-134