CD-AFM在45 nm节点半导体芯片检测过程中的应用

摘要：

本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用.通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位.根据芯片在线关键尺寸检测的具体要求,提出了原子力显微镜急待解决的相关研究内容.

关键词：关键尺寸、原子力显微镜、扫描电子显微镜、3D图像

所属期刊栏目：28

分类号：TG115.21+5.7;TN16(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院仪器研制与改造项目

在线出版日期：2009-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：127-130