基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计

摘要：

原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一.本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容.文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集.新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1 nm的分辨率,检测范围为0～2mm×2 mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠.

关键词：扫描隧道显微镜、原子力显微镜、系统设计

所属期刊栏目：28

分类号：TH742;TG115.21+5.3(仪器、仪表)

资助基金：重庆市科委自然科学基金资助项目CSTC,2007BB2120;重庆大学自然科学青年基金,重庆大学国家大学生创新性实验计划项目CQUCX-G-2007-14

在线出版日期：2009-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：116-121