Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究

摘要：

用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂znO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽△α从0.019增大到0.287,分形参数△f由-0.075变为0.124.

关键词：Al掺杂ZnO薄膜、原子力显微图像、表面形貌、多重分形谱

所属期刊栏目：27

分类号：O766;O484;TG115.21+5.7(晶体结构)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50642038;教育部博士点专项基金20060357003;安徽省人才专项基金20042029;安徽科技厅重点项目07020203009;安徽省高等学校省级自然科学研究项目KJ20078135;安徽省高等学校青年教师科研资助计划项目2006jq1192;安徽大学人才队伍建设基金

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：192-196