La0.9Sr0.1MnO3/Si体系界面的电子显微学研究

摘要：

本文利用透射电子显微术,研究了通过激光分子束外延方法在Si基体上生长的La0.9Sr0.1MnO3功能薄膜的显微结构特征及界面处的微区成分分布规律.结果表明,在Si基体上生长的La0.9Sr0.1MnO3薄膜由单相多晶体构成.这些多晶体颗粒以柱状结构生长,柱状晶垂直于界面并一直贯穿整个LSMO薄膜.La0.9Sr0.1MnO3薄膜具有正交点阵结构,其颗粒大小为10 nm～20 nm.在LSMO/Si的界面处发现了由化学反应引起的两个纳米尺度的非晶层.

关键词：La0.9Sr0.1MnO3薄膜、界面结构、成分分布

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分类号：O484.1;O766;TG115.21(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50325101;国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613503

在线出版日期：2008-04-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：298-301