10.3969/j.issn.1000-6281.2007.03.001
超精细纳米结构加工技术
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构.加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米.加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成过程.这种技术可以广泛应用于各种无机材料,尤其适用于无机化合物.结合自动控制,这种技术可以用于加工任意复杂的二维纳米结构.
超精细纳米结构、高分辨透射电镜、纳米加工
26
O766+.1;O77+4;O786;TN303(晶体结构)
国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613505
2007-07-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
167-170