用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究

摘要：

固体材料表面图案化微结构的制备是实现其功能化的一条重要途径,也是当前的一个研究热点.本文介绍了一种具有较高保真度和精度的制备多组分微米图形的新方法--级联缩微方法(serial contraction and adsorption nanolithography,SCAN).展示了利用一维SCAN方法制备的彩色墨水的微米级线条图形(线宽约1 μm和4 μm)、用二维SCAN方法制备的彩色墨水的微米级点阵(直径为30 μm)以及多色文字的微图形.采用光学显微镜成像和原子力显微镜成像两种手段研究和讨论了影响级联微缩的因素,探讨了该方法的限度和潜在的应用前景.

关键词：微图形、级联缩微、制备方法、多组分

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分类号：TN603.5;TH742(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金10335070;10674147;纳米专项资助项目03DZ14025;上海市科委创新团队项目

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：130-137