定量会聚束电子衍射:Ⅰ.研究动态

摘要：

本文介绍了一种在材料研究和半导体器件分析等领域中常用的结构分析技术--定量会聚束电子衍射术.主要介绍会聚束电子衍射方法的简史及近况、定量会聚束电子衍射的特点和发展方向.同时,简述了定量会聚束电子衍射技术在材料科学研究中的应用和实验的基本过程.

关键词：会聚束电子衍射、结构分析、定量会聚束电子衍射、QCBED

所属期刊栏目：26

分类号：O766+.1;TN16;TG115.23(晶体结构)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613505

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：90-96