利用图像中的探针信息获取探针形貌的方法

摘要：

扫描探针显微技术已在纳米甚至原子级的形貌获取中得到了广泛地应用.其分辨本领在很大程度上依赖于探针的形貌尺寸.传统的检测探针的方法大多对针尖的损伤很大或需要复杂的仪器,这就使这些方法带有一定局限性.本文提出利用扫描图像中反映的探针信息数值求解探针形貌的方法,利用探针扫描不同样品所得到的扫描图像还原探针的形貌,结果显示用此算法能够还原出原针尖的形貌.为了更好地与实际结果对比,用原子力显微镜扫描图像来验证此方法的正确性,结果显示反构造的探针形貌结果与MI公司所提供的探针尺寸吻合很好.

关键词：扫描探针、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：25

分类号：TG115.21+5.7(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金30270367

在线出版日期：2006-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：390-394