同步辐射光刻的X射线反射谱表征

摘要：

采用X射线反射(XRR)谱对同步辐射导致的氧化物薄膜的刻蚀进行了在位测试,结果表明波长为0.154nm的单色X光在室温下可对MgO和Cr2O3产生轻微的刻蚀.与文献中大量报道的同步辐射X射线光刻及烧蚀不同,这是单色X射线光刻的首次报道.尽管刻蚀速率极慢,但利用XRR谱的高分辨率,成功地检测到了膜厚的减薄.

关键词：同步辐射、光刻、X射线反射谱

所属期刊栏目：25

分类号：TL501(加速器)

资助基金：国家留学基金委留学基金21851030;荷兰高等教育国际合作组织Nuffic资助项目

在线出版日期：2006-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：368-372