多层陶瓷电容器流延瓷膜的原子力显微镜分析

摘要：

@@ 电介质瓷料流延膜的制作是生产多层陶瓷电容器(MLC)的关键工序,流延膜的平整度,致密性,表面形貌等是影响MLC的性能和可靠性的关键因素之一.原子力显微镜(AFM)可不经导电处理直接观察电介质瓷膜的表面微结构.

机标关键词：多层陶瓷电容器、流延膜、原子力显微镜、电介质、表面微结构、直接观察、介质瓷料、关键因素、关键工序、表面形貌、致密性、平整度、可靠性、电处理、制作、性能、生产

所属期刊栏目：24

分类号：TQ17

在线出版日期：2005-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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