10.3969/j.issn.1000-6281.2005.04.036
Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究
@@ 金属多层膜具有化学、电子、磁学和力学等方面的许多优异性能,目前被广泛用于光学器件、磁记忆介质和作为互连体材料,尤其近年在微电子机械系统领域的应用引起了广泛注意.
金属多层膜、纳米压痕、微电子机械系统、域的应用、光学器件、体材料、磁记忆、性能、力学、介质、化学、互连、磁学
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TB3(工程材料学)
国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619303
2005-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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