TiN/TiB2纳米多层膜的共格外延生长

摘要：

@@ 两种材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层薄膜因具有超硬效应而得到广泛的关注和研究.两调制层在小周期时形成共格界面的外延生长结构是纳米多层膜产生硬度异常升高的重要微结构特征.

机标关键词：纳米多层膜、共格外延生长、纳米多层薄膜、微结构特征、异常升高、生长结构、纳米量级、交替沉积、共格界面、超硬效应、小周期、硬度、调制、材料

所属期刊栏目：24

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：上海市专利技术再创新项目03725052

在线出版日期：2005-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：275