Ti-Si-N纳米晶复合膜微结构的TEM观察

摘要：

@@ 2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80～150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70～90GPa)的结果令人惊讶并引起竞相研究.

机标关键词：纳米晶、复合膜、微结构、超高硬度、薄膜硬度、金刚石

所属期刊栏目：24

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：上海市专利技术再创新项目03725052

在线出版日期：2005-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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