10.3969/j.issn.1000-6281.2005.04.032
Ti-Si-N纳米晶复合膜微结构的TEM观察
@@ 2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80~150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70~90GPa)的结果令人惊讶并引起竞相研究.
纳米晶、复合膜、微结构、超高硬度、薄膜硬度、金刚石
24
TB3(工程材料学)
上海市专利技术再创新项目03725052
2005-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
274