TiB2/SiO2纳米多层膜的微结构特征

摘要：

@@ 两种材料以纳米量级厚度交替沉积形成的纳米多层膜常伴有硬度和弹性模量异常升高的超硬效应.据此,Sproul [1]等提出采用两种氧化物交替沉积制备同时具有超硬效应和优良抗氧化性能的纳米多层膜.

机标关键词：纳米多层膜、交替沉积、超硬效应、抗氧化性能、异常升高、纳米量级、弹性模量、氧化物、硬度、厚度、材料

所属期刊栏目：24

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：上海市专利技术再创新项目03725052

在线出版日期：2005-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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