10.3969/j.issn.1000-6281.2005.04.020
Zr-Si-N纳米晶复合膜的生长结构
@@ 近来,三元Me-Si-N复合膜因具有超硬效应而受到广泛关注.迄今为止大量研究集中于Ti-Si-N体系,其他体系报道较少.ZrN薄膜的力学性能与TiN薄膜相近,也是一种得到工业应用的硬质涂层材料.
纳米晶、复合膜、生长结构、薄膜的力学性能、涂层材料、体系、工业应用、超硬效应、硬质
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TB3(工程材料学)
上海市专利技术再创新项目03725052
2005-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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