模拟扫描电镜像衬度的体构件Monte Carlo方法

摘要：

利用Monte Carlo计算方法可以模拟电子束与样品的相互作用过程,从而了解扫描电子显微学中信号的产生机制.本工作中,我们采用体构件法来产生复杂试样的几何构型,利用光线追踪算法求得散射事件间的步长抽样修正.电子散射的物理模型则采用Mott散射截面描述电子与原子间的弹性相互作用,以及用介电函数理论描述电子与固体的非弹性相互作用,同时还考虑到了二次电子的级联产生过程.以此,我们模拟计算出了若干复杂几何体的二次电子像和背散射电子像.

关键词：SEM像、Monte Carlo方法、电子散射、体构件、二次电子、背散射电子

所属期刊栏目：24

分类号：O242.2;O766+.1(计算数学)

资助基金：国家自然科学基金10025420,90206009,60306006

在线出版日期：2005-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：50-56