稀磁半导体薄膜Ti0.93Co0.07 O2显微结构的研究

摘要：

目的:本工作利用分析电子显微术和X-射线衍射方法研究了Ti0.93Co0.07 O2薄膜材料的显微结构.研究结果表明:Co元素主要以替代TiO2锐钛矿结构中的Ti的形式存在;虽然利用透射电镜观察,可偶尔看到局部Co的金属团簇的存在,但数量极少.这表明Ti0.93Co0.07 O2薄膜具有独特的稀磁系统特征,其铁磁性的产生不来自于Co的团簇,而可能来自载流子调制.通过X-射线能谱分析得到了Ti0.93Co0.7 O2薄膜中Co与Ti的成分分布,Co与Ti的原子比不严格地等同于薄膜的名义配比0.07,而是在纳米尺度上有成分起伏.高分辨图像显示,Ti0.93 Co0.07 O2薄膜中晶面扭曲,晶格发生畸变,主要是由于薄膜中Co的成分起伏、价态变化等因素共同造成的.

关键词：稀磁半导体材料、Ti0.93Co0.07 O2薄膜、电子显微术、锐钛矿

所属期刊栏目：23

分类号：TN307;O766.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：603-608