扫描电镜的试样制备方法及应用

摘要：

@@ 扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,例如加速电压、镀膜厚度、试样尺寸及固定方法等,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.镀膜是解决非导电试样荷电现象的主要方法,也可以提高图像质量,但往往产生假象,对场发射扫描电镜试样要特别注意镀膜材料和镀膜厚度.镀膜材料要根据试样材料和放大倍率选择,在一万倍以下观察图像时,可以蒸镀金膜,用场发射SEM观察高倍图像时,应蒸镀厚几nm的难熔金属Pt或者Pt-Pd合金.

机标关键词：扫描电镜观察、试样制备、方法及应用、advanced ceramics、镀膜厚度、场发射、制备方法、图像质量、镀膜材料、无机非金属、主要方法、质量相关、蒸镀、选择、试样尺寸、难熔金属、加速电压、荷电现象、固定方法、放大倍率

所属期刊栏目：23

分类号：O766(晶体结构)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：514-514