TEM薄膜样品制备中的几点经验

摘要：

@@ 样品制备在电子显微学研究中至关重要,制备高质量的样品,是获得研究成果的关键之一.
要获得高质量薄膜样品,除在离子减薄参数的合理选择和充分发挥减薄设备本身的技术水平外,还要重视样品在离子减薄前的机械预减薄,否则同样得不到高质量的薄膜样品.作者用美国Fischion公司生产的1010型离子减薄仪制备的薄膜样品,得到了理想的观察区域.

机标关键词：薄膜样品、样品制备、经验、离子减薄仪、质量、电子显微学、研究成果、技术水平、合理选择、观察区域、生产、设备、美国、理想、机械、参数

所属期刊栏目：23

分类号：O766(晶体结构)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：511-511