扫描电镜图像放大倍率校准有证参考物质的研究

摘要：

@@ 扫描电镜在半导体工业、微机械、微电子、材料科学及生命科学中都有广泛的应用.在微米、纳米尺度的形态观测和表征方面,扫描电镜的图像分析系统发挥了重要的、不可替代的作用.当需要利用图像系统对物体的二维尺度进行表征时,首先必须保证其测量结果是准确的,这就需要有统一的有证参考物质可对图像系统的放大倍率进行校准.由于多年来我国对各类小尺度(微米和纳米尺度)的标准样品未引起足够的重视,标准化工作近于空白,已严重地影响了纳米材料、微电子工业及生命科学等有关学科的发展.

机标关键词：扫描电镜图像、放大倍率校准、有证参考物质、image magnification、图像系统、生命科学、纳米尺度、微电子工业、图像分析系统、标准化工作、半导体工业、微米、纳米材料、测量结果、材料科学、表征、标准样品、小尺度、微机械、应用

所属期刊栏目：23

分类号：TB3;O6(工程材料学)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：480-481