溶胶-水热法制备纳米氧化镁薄膜的研究

摘要：

@@ 结晶良好的氧化镁薄膜具有很好的化学稳定性、热传导性和绝缘性,而且氧化镁的表面张力、晶格常数等性质与常见半导体、电极材料很接近,因此可用来制备高临界温度的超导体以及铁电薄膜的稳定阻挡层[1].同时,氧化镁也是良好的微滤材料以及功能陶瓷的衬底,广泛应用于集成电路、电子、功能陶瓷、敏感元件[2]等领域.我们采用溶胶-水热法在不锈钢和陶瓷基片上制备出质地均匀、具有适宜厚度的氧化镁薄膜.

机标关键词：溶胶、水热法制备、纳米氧化镁薄膜、功能陶瓷、化学稳定性、铁电薄膜、陶瓷基片、热传导性、敏感元件、临界温度、晶格常数、集成电路、电极材料、表面张力、阻挡层、绝缘性、超导体、不锈钢、半导体、应用

所属期刊栏目：23

分类号：TB3;O6(工程材料学)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：451-451