螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响

摘要：

@@ 近年来,由于BaTiO3薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐.钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一.该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点,因而逐步为材料学家所重视,是研制高质量超薄型膜的重要手段.本文用Sol-Gel工艺制备BaTiO3薄膜,研究了螯合剂乙酰丙酮对钛酸钡结晶起始温度的影响及薄膜微结构的影响规律.

机标关键词：螯合剂、钛酸钡薄膜、膜表面形貌、动态存储器、温度的影响、薄膜微结构、制备方法、真空设备、应用前景、乙酰丙酮、规模生产、工艺制备、凝胶法、可控性、剂量比、大面积、超薄型、材料学、质量、溶胶

所属期刊栏目：23

分类号：TB3;O6(工程材料学)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：432-432