电化学沉积DLC和CNx薄膜的微观形貌比较

摘要：

@@ 类金刚石碳膜(简称DLC膜)是一类具有高硬度、化学惰性、低介电常数、宽光学带隙等特点的非晶碳膜,在机械、电子、化学等领域具有广阔的应用前景.类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个:一是寻求人工合成β-C3N4超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.

机标关键词：电化学沉积、薄膜、微观形貌、类金刚石碳膜、低介电常数、应用前景、人工合成、化学惰性、光学带隙、非晶碳膜、化合物、高硬度、氮元素、性能、机械、电子、超硬、掺杂、掺入

所属期刊栏目：23

分类号：TB3;O6(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50323007,50172052;国家高技术研究发展计划863计划2003AA305670;中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：430-430