LaAlO3单晶基片上制备Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的透射电镜研究

摘要：

@@ 铁电钛酸锶钡(Ba1-xSrx)TiO3(BSTO)薄膜材料具有很好的可调性,在微电子工业有广阔的应用前景[1,2].本文采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)LaAlO3单晶基片上外延生长了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.利用透射电子显微镜对薄膜的截面样品进行了微结构和界面行为的研究.

机标关键词：单晶基片、薄膜材料、透射电子显微镜、电镜研究、electron microscopy、single crystal、脉冲激光沉积、微电子工业、应用前景、外延生长、钛酸锶钡、界面行为、截面样品、微结构、可调性、技术

所属期刊栏目：23

分类号：TB3;O6(工程材料学)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：400-400