10.3969/j.issn.1000-6281.2004.04.064
结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度
@@ 扫描电镜中的低能二次电子信号主要反映试样的表面形貌特征,而较高能量的背散射电子信号既包含了试样的表面信息,也可表征试样的结构差异和内部成分.对二次电子和背散射电子信号产生过程的计算模拟研究有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图像衬度机理,但现在的计算一般仅局限于半无限大均匀试样,对成分非均匀和形貌特殊的试样,需要在模拟算法上进行改进.
结合体构造、方法、模拟研究、扫描电镜、成像衬度、电子信号、试样、二次电子、扫描电子显微镜、表面形貌特征、背散射、内部成分、模拟算法、结构差异、计算、成像机制、衬度机理、产生过程、表面信息、高能量
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TB3;O6(工程材料学)
国家自然科学基金10025420,20075026,90206009
2004-10-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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