扫描电镜低电压条件下的应用

摘要：

@@ 场发射扫描电镜的低电压操作性能优越,广泛地应用于材料研究中.利用常规加速电压,如20kV观测样品,二次电子来自样品表面5～10nm范围,最表层的形貌被削弱,甚至掩盖了;而用低加速电压观测样品时,由于入射电子束的能量低,与样品表面的相互作用区小,信号多来源于材料的表面,电压越低,观测的形貌效果越接近表层.

机标关键词：场发射扫描电镜、低电压、压条、应用、样品、加速电压、观测、表面、互作用区、二次电子、操作性能、材料研究、最表层、多来源、电子束、信号、能量

所属期刊栏目：22

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：655-656