溶胶-凝胶法CeO2薄膜的制备及AFM研究

摘要：

@@ 溶胶-凝胶法(sol-gel)是将金属有机物或无机化合物经过溶液、溶胶、凝胶而固化,再经过热处理形成氧化物或化合物固体的方法.溶胶-凝胶法具有工艺设备简单、易操作、成本低廉、化学成分可控及可在400℃～600℃的相对低温下制备高纯、小孔径(约为几个nm)无机陶瓷膜等优点,近20年来已发展成为制备陶瓷薄膜材料最有效的方法之一.

机标关键词：溶胶、凝胶法、膜的制备、陶瓷薄膜材料、无机化合物、无机陶瓷膜、金属有机物、化学成分、过热处理、工艺设备、方法、氧化物、小孔径、溶液、可控、固体、成本、操作

所属期刊栏目：22

分类号：O64(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：553-553