聚合物热解制备类金刚石薄膜的表面形貌研究

摘要：

@@ 类金刚石碳(DLC)薄膜由于其硬度高、杨氏模量大、介电常数高、摩擦系数低、化学惰性好、导热性能好以及生物相容性良好等优异性能而在耐磨涂层及微电子学等方面具有广阔的应用前景.传统制备类金刚石碳膜一般用化学气相沉积法和物理气相沉积法,如微波等离子体辅助沉积、磁控溅射沉积和脉冲激光沉积等,这些气相沉积技术要求设备的投资大,且难以在大而形状复杂的部件上沉积.

机标关键词：聚合物、热解制备、类金刚石薄膜、表面形貌、carbon film、化学气相沉积法、类金刚石碳膜、微波等离子体、脉冲激光沉积、生物相容性、应用前景、杨氏模量、导热性能、微电子学、耐磨涂层、摩擦系数、介电常数、溅射沉积、技术要求、化学惰性

所属期刊栏目：22

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金50172052,50175105;中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：547-548