10.3969/j.issn.1000-6281.2003.06.040
Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用
@@ X射线能谱(EDX)分析是目前使用最广泛的表面及亚表面微区化学成分的分析方法之一.
Finder-1000X射线能谱仪是中国科学院北京科学仪器研制中心新开发的分析系统,它与电脑相结合,能准确地鉴别重叠谱峰如Zn-Au,Pb-S等,在定量方面,精确度比原系统更高,操作方便,为我们分析半导体陶瓷中的微小杂质提供了可靠的依据.
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TN3(半导体技术)
2004-03-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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