Monte Carlo模拟有特殊几何边界试样的扫描电镜成像衬度

摘要：

@@ 扫描电子显微镜对于研究材料的表面形貌非常重要.低能二次电子主要反映试样的表面形貌特征,而较高能量的背散射电子既可在一定程度上反映试样的表面特征,也可表征试样的内部成分和结构差异.采用Monte Carlo计算模拟方法可以研究电子在有几何边界的试样表面附近及内部的相互作用过程[1,2],从而得到二次电子和背散射电子信号的各种分布,这将有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图像衬度机理.

机标关键词：模拟方法、几何边界试样、扫描电镜、扫描电子显微镜、二次电子、表面形貌特征、相互作用过程、背散射、内部成分、结构差异、电子信号、成像机制、衬度机理、表面特征、高能量、图像、计算、分布、低能、材料

所属期刊栏目：22

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金10025420,20075026,90206009

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：514-515