蒙特卡洛模拟方法在扫描电子显微学中的应用

摘要：

@@ 用于模拟固体中电子散射轨迹的蒙特卡洛方法已经在电子探针、电子束微分析和电子束光刻等领域得到极其广阔的应用.扫描电子显微学中,借助于该方法我们可以从理论上系统地研究二次电子和背散射电子的信号产生和发射过程,从而理解各种衬度形成的物理机制[1].

机标关键词：蒙特卡洛模拟方法、扫描、电子显微学、应用、蒙特卡洛方法、电子束光刻、信号产生、物理机制、发射过程、二次电子、电子探针、电子散射、微分析、背散射、系统、理论、轨迹、固体、衬度

所属期刊栏目：22

分类号：TN1(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金10025420,20075026,90206009

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：512-513