振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究

摘要：

探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)图像的影响.针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM,以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源,以SIOS微型激光干涉测振仪SP-S为测振系统,研究了0～7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响.实验表明,针尖-样品副所受激振影响不同于SPM机体;0～1kHz频带内的激振影响显著,再高频段则影响甚微;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果;针尖-样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论.

关键词：外界激振、扫描探针显微镜、针尖-样品副、粘弹性模型

所属期刊栏目：22

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：教育部科学技术基金02043;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404090

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：242-246