FDTD等效入射波法分析PSTM

摘要：

本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM).作为验证,计算了3维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S和P极化情况下,等高扫描面上的场分布的PSTM图像,并与其他方法进行比较.比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点.

关键词：PSTM、FDTD、等效入射波法

所属期刊栏目：22

分类号：TN16;O242.1;O766(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：226-228