纳米机械加工与材料表面性质研究

摘要：

纳米科技的发展和应用涉及纳米器件的加工、制作以及加工表面特征、性质和功能等研究.获得能够控制在微小区域的纳米加工技术手段、能对不同材料进行纳米加工以及能对过程和加工表面进行检测分析等是十分重要的.本文结合扫描探针显微镜和金刚石超精密加工技术,对金刚石纳米切削展开实验研究.实验表明,结合扫描探针显微技术直接使用金刚石刃具进行材料的纳米量级机械加工,能够适应对不同材料微去除加工的要求,可同时对加工表面、机械加工机理以及表面的加工力学性能等进行综合研究,是一种良好的纳米加工方法.

关键词：纳米加工、扫描探针显微镜、表面力学性能、金刚石、切削

所属期刊栏目：22

分类号：TN16;TG5(真空电子技术)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金2000-367;广东省自然科学基金010033;广东省广州市科技攻关项目2002Z2-D3041

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：210-213