用AFM导电探针在n-Si(111)表面进行纳米加工的机理研究

摘要：

本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法,重点讨论了加工机理.实验考虑了样品的表面状态,周围大气状况,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素.对机理的研究表明,针尖和样品之间发生的是场致电子发射而非热电子发射,电流热效应增强粒子的扩散能力,提高了电化学反应速度.最后给出了电场诱导阳极氧化扩散增强的加工机理.

关键词：AFM、纳米加工、氧化、扩散

所属期刊栏目：22

分类号：TN16;TG501(真空电子技术)

资助基金：江苏大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：202-205