基于AFM的微结构加工实验研究

摘要：

本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析,得出这个系统适合微结构的加工;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结构;还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响.

关键词：原子力显微镜、微结构、金刚石针尖

所属期刊栏目：22

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：航天支撑技术基金;海外青年学者合作研究基金50028504

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：199-201