10.3969/j.issn.1000-6281.2003.01.014
ITO靶材中氧含量EPMA定量分析方法研究
ITO靶材中氧含量的理论值为17.66%(重量百分比).在成型过程中,因工艺条件的不同,各类靶材会有不同程度的失氧,失氧量的多少决定着其性能的优劣.本文将探讨EPMA测量ITO靶中氧含量时所遇到的问题,针对ITO靶材材质自身的特点,采用不同于传统EPMA测量方法,准确地测量了ITO靶材中的氧含量.本方法的主要特征为:不作基质修正,考虑晶体结构带来的影响而引入密度修正.
ITO靶材、EPMA、密度、基质修正、谱峰漂移
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TG146.4;TG115.215.7(金属学与热处理)
2004-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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