聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题

摘要：

本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命.讨论了离子光学柱体的组成与特征,束流一束径关系,束中电流密度分布,以及空间电荷效应等.回顾了静电透镜的历史以及它在离子光学系统中的重要意义.

关键词：聚焦离子束(FIB)、液态金属离子源(LMIS)、静电透镜、空间电荷效应

所属期刊栏目：21

分类号：O463.2;TL503.3;TH83(真空电子学（电子物理学）)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：411-415