原子力显微镜在金刚石表面微结构分析中的应用

摘要：

本文报告用原子力显微镜(AFM)测量金刚石精密加工表面的微观结构,获得了用机械抛光法与热化学抛光法得到的表面纳米级形貌.前者呈直线纹理,反映出金刚石磨料的刮削机理,后者表面较平滑,无明显加工纹理,但在磨削方向出现一些蚀坑,反映出碳原子扩散的化学磨削机理.

关键词：金刚石、磨削、微结构、原子力显微镜

所属期刊栏目：20

分类号：O613.7;O781;TN16(无机化学)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：607-609