场发射电子显微镜实验室设计

摘要：

场发射电子显微镜是新型超高精密的设备,其对机房安装环境有特殊要求.为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像,必须严格控制震动和环境磁场的干扰.本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析,通过实际施工后的现场检测证实本设计满足了场发射电镜室对环境的技术要求,保证了我校两台场发射电镜顺利安装验收.

关键词：FEEM、隔震、磁屏蔽

所属期刊栏目：19

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：728-734