改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望

摘要：

本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理.分析结果表明,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数Cs.如果等效球像差系数能降低到0.1×10-2cm的水平,则二次电子像的分辨本领为0.322nm(当扫描电子束的加速电压VA＝30kV).此外,在Cs＝0和扫描电子束的半开角α＝5×10-2rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到0.178nm( 当VA＝30kV).

关键词：二次电子像的分辨本领、等效球像差系数、最佳半开角、极限分辨本领

所属期刊栏目：19

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：709-716